전자정보공학부 전자공학전공
교수
권혁주
- 전화번호
- 028200637
- 이메일
- hyukjookwon@ssu.ac.kr
- 연구분야
- EUV Lithography EUV Mask Process Photomask Technology
- 홈페이지
- EUV Mask 연구실 바로가기
최종 학력
- 1992.03.02 ~ 1997.02.25
- 경북대학교
- 전자공학과
- 대학원(박사)
- 1990.03.02 ~ 1992.02.25
- 경북대학교
- 전자공학과
- 대학원(석사)
- 1986.03.02 ~ 1990.02.24
- 경북대학교
- 전자공학과
- 대학교(학사)
직위
- 전자정보공학부 전자공학전공
- 교수
경력 및 업적
경력
- 2004년 9월 ~ 2025년 8월 삼성전자 반도체 연구소
- - EUV Mask 공정 (TL/PL) - Dry Etch 공정 (PL) - Dry Etch 설비 (PL)
- 2010년 3월 ~ 2012년 3월 SEMATECH (New York, USA)
- - 삼성전자 주재원 (SEMATECH, New York, USA) - EUV Printability (Project Manager) - EUV Actinic Inspection Tool (Project Manager)
- 1997년 2월 ~ 2004년 5월 Photronics
- - Dry Etch 장비 개발 및 공정 개발 (장비개발팀장) - Atomic Layer Deposition 장비 개발 및 공정 개발 (장비개발팀장)
추가 정보
연구실
- 벤처관 507호